表面上碳纳米管的光化学导向自组装
化学物理
2017-04-06 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
以单壁碳纳米管作为沟道材料的晶体管被用于各种电子学应用。然而，具有竞争力的基于 CNT 的技术需要将 CNT 精确放置在基底的预定义位置上。一种有前景的放置方法是利用化学识别，从溶液中将 CNT 结合在表面的目标位置。在基底上制备化学图案具有挑战性。在此，我们描述了一种基于高感光表面单层的一步图案化方法。该单层包含作为感光主体的生色团基团，以及作为高量子产率光解中心的杂原子。在沉积后，该层将从溶液中结合 CNT。然而，当暴露于与常规光刻胶所用剂量相似的低剂量（60 mJ/cm2）紫外线（UV）光下时，该单层发生断裂且不再结合 CNT。这些特性使得无需复杂的基底图案化或单层压印，即可使用标准的晶圆级 UV 光刻工艺来形成图案化的化学单层。
引用
@article{arxiv.1704.01230,
title = {Photo-Chemically Directed Self-Assembly of Carbon Nanotubes on Surfaces},
author = {Zhaoying Hu and James B. Hannon and Hongsik Park and Shu-Jen Han and George S. Tulevski and Ali Afzali and Michael Liehr},
journal= {arXiv preprint arXiv:1704.01230},
year = {2017}
}
备注
12 pages, 4 figures