论溅射非平衡等离子体中气溶胶动力学相关现象间的竞争
等离子体物理
2017-02-06 v1
摘要
- 我们利用描述等离子体平衡、团簇动力学与气溶胶动力学的三个模型相结合，以研究在直流气体放电中由石墨阴极溅射提供碳源所形成的固体碳质尘埃。这使我们能够确定一些颗粒特征（例如总密度、平均直径、平均电荷）随溅射产额变化的时序演化。我们表明，对于几分钟的放电时长，颗粒密度达到 10 7-10 8 cm-3，颗粒平均直径约为 40 nm，且在所有研究条件下颗粒尺寸分布均为双峰。我们还表明，溅射产额的变化以相当出乎意料的方式影响了气溶胶动力学相关现象之间的相互作用。基本上，较大的溅射产额一方面导致更大的密度与凝聚速率，另一方面导致受限的成核与表面黏附动力学。
引用
@article{arxiv.1702.01019,
title = {On the Competition Between the Phenomena Involved in the Aerosol Dynamics in Sputtering Nonequilibrium Plasma},
author = {Armelle Michau and Khaled Hassouni and Cécile Arnas and Guillaume Lombardi},
journal= {arXiv preprint arXiv:1702.01019},
year = {2017}
}