具有宽温区与宽磁场工作范围的片上可集成平面 NbN 纳米 SQUID
应用物理
2019-04-17 v1 超导电性
摘要
超导量子干涉器件（SQUIDs）被用于从灵敏磁力计到低温度电子学与量子计算等多种应用。我们介绍了一种平面纳米 SQUID，它由 Si 芯片上薄至 3 nm 的 NbN 薄膜经单步光刻制成。文中给出了弱连接（宽 45 nm、长 165 nm）的制备工艺，其设计旨在克服电流拥挤效应。演示了在 20 mK 至 5 K 温度范围以及 1 T 平行磁场与 10 mT 垂直磁场下的工作，同时也显示了在高于 8 T 磁场下工作的潜力。单一器件的广泛适用性及其可扩展性为片上集成带来了前景，这可能开辟新的技术可能，包括量子与电光电路方面的应用。
引用
@article{arxiv.1904.07739,
title = {On-Chip Integrable Planar NbN NanoSQUID with Broad Temperature and Magnetic-Field Operation Range},
author = {Itamar Holzman and Yachin Ivry},
journal= {arXiv preprint arXiv:1904.07739},
year = {2019}
}
备注
19 pages, 3 figures + 7 supplementary figures