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纳米多孔金薄膜作为基底用于低温原子探针层析分析液体

材料科学 2023-11-23 v1 应用物理

摘要

低温原子探针层析(cryo-APT)正被开发以实现冷冻液体的纳米尺度成分分析。然而,现有易得基底虽能固定液体并为其界面提供足够强度,仍是一大问题。本文提出使用溅射于平整硅片上的1–2微米厚金-银(AuAg)二元合金薄膜,无需附加层即可获得充分粘附。通过化学脱合金,我们成功制备了具有开孔结构的纳米多孔基底,并利用聚焦离子束 lift out 将其安装于硅柱微阵列上,从而实现液体的低温固定。我们给出了经低温针尖 sharpening、真空低温转移及分析多孔薄膜表面与内部纯水后的cryo-APT结果。我们证明该新基底具备促进冷冻液体cryo-APT所需的特性,且贵金属体积相对较低。这一完整流程代表了从薄膜制备、液体在多孔网络中成功固定到cryo-APT的改进型冷冻液体分析方法。

关键词

引用

@article{arxiv.2311.13224,
  title  = {Nanoporous gold thin films as substrates to analyze liquids by cryo-atom probe tomography},
  author = {E. V. Woods and A. Saksena and A. A. El-Zoka and L. T. Stephenson and T. M. Schwarz and M. P. Singh and L. S. Aota and S. -H. Kim and J. Schneider and B. Gault},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2311.13224},
  year   = {2023}
}