用于悬浮实验的微加工Au和Au/石墨烯双层薄片

我们描述了一种制备微米级Au和Au/石墨烯双层薄片液体悬浮液的制造工艺，该工艺使用薄膜沉积、光学光刻、离子铣削、氢氟酸（HF）衬底蚀刻以及从衬底释放到液体悬浮液中。通过重复离心、倾析和稀释循环去除残留的HF。所得悬浮液通过电喷雾沉积到二次衬底上，然后进行电子显微镜和原子力显微镜表征。沉积的薄片表现出最小的聚集，总体薄片产率达到晶圆上原始图案化薄片的30%。横向力显微镜进一步证实，Au/石墨烯双层在整个制造、释放和电喷雾沉积过程中保持完整。该工艺为制备用于悬浮纳米粒子实验和其他需要二维纳米结构悬浮液的应用的高质量薄片悬浮液提供了一条实用途径。