基于超材表面的平面微透镜用于 SPAD 像素
光学
2024-03-21 v1 应用物理
摘要
本文提出了两种生成的基于超材表面的平面微透镜，用于前表面照明 SPAD 像素。这种类型的微透镜是传统回流微透镜的一种替代方案。它在设计上提供了更多的自由度，尤其是能够设计偏轴微透镜以收集围绕 SPAD 光电二极管的光线。两种生成的微透镜已制造于 STMicroelectronics 的 SPAD 上并进行表征。我们验证了使用扩展型超材表面微透镜所带来的灵敏度提升。我们还确认了光刻工艺对超材表面性能的影响，突出了...
引用
@article{arxiv.2403.13396,
title = {Metasurface-based planar microlenses for SPAD pixels},
author = {Jérôme Vaillant and Lucie Dilhan and Alain Ostrovsky and Quentin Abadie and Lilian Masarotto and Romain Paquet and Mickaël Cavelier and Cyril Bellegarde},
journal= {arXiv preprint arXiv:2403.13396},
year = {2024}
}