由 (La,Sr)MnO3 单晶薄膜制备的磁性弹跳共振器
应用物理
2025-06-10 v1 材料科学
强关联电子
摘要
采用磁性元件的微电机共振器已被提出用于磁场感知应用，但将磁性材料与标准半导体器件集成具有挑战性，且需要复杂的制造工艺。我们采用一种不同方法，利用 (La0.7,Sr0.3)MnO3 (LSMO) 作为结构元件和功能磁层。从 LSMO 薄膜中实现悬挂式弹跳结构，仅需一步工艺，表质因子可达 6 万，fQ 产品可达 10^{10} Hz。通过 SQ 磁振子计和磁力显微镜探测其磁性性能，室温下饱和磁化为 240 kA/m，面内磁性域的 coercivity 为 2.5 mT。由于其全部由磁性材料制成，这些共振器的磁相互作用体积大于其他解决方案，使其成为高灵敏度磁场传感器的理想构件。
引用
@article{arxiv.2501.12177,
title = {Magnetic Trampoline Resonators from (La,Sr)MnO3 Single-Crystal Thin Films},
author = {Nicola Manca and Dhavalkumar Mungpara and Leonélio Cichetto and Alejandro E. Plaza and Gianrico Lamura and Alexander Schwarz and Daniele Marré and Luca Pellegrino},
journal= {arXiv preprint arXiv:2501.12177},
year = {2025}
}
备注
7 pages, 4 figures, 2 supporting sections