磁场辅助的硅激光烧蚀
光学
2021-11-24 v1 应用物理
摘要
从基础和工业角度来看，理解和操控固体烧蚀过程中的激光加工质量至关重要。在此，我们研究了外部磁场对超短激光脉冲烧蚀硅的微材料加工的影响。实验发现，沿激光束方向施加此类磁场可改善材料去除的质量与效率。此外，我们观察到在多脉冲 regime 下激光诱导周期性表面结构（LIPSS）的形成受外部磁场影响。我们的结果开辟了通向高效且可控的超快激光微加工的路径。
引用
@article{arxiv.2107.00626,
title = {Magnetic-field assisted laser ablation of silicon},
author = {M. Schäfer and P. N. Terekhin and Y. Kang and G. Torosyan and X. del Arco Fargas and S. Hirtle and B. Rethfeld and J. A. L'huillier},
journal= {arXiv preprint arXiv:2107.00626},
year = {2021}
}