用于 EUV 与软 X 射线计量系统的无损光子通量传感方法
应用物理
2024-10-29 v1 仪器与探测器
光学
摘要
我们展示了一种用于监测短波长计量系统中光子通量的简单、无损方法，特别关注使用高次谐波产生光源的应用。在基于 HHG 的计量中，光子稀缺往往限制了精度和效率，因此在不牺牲光子的情况下监测通量的能力至关重要。所展示的方法测量金属 EUV 滤光片中的光生电流，该电流由暴露于高能光子期间通过光电效应释放的初级和次级电子产生。通过在设定的曝光时间内对该电流进行积分，我们获得了与入射光子通量直接相关的累积电荷。该测量提供了可靠的光子通量实时指示，允许在计量实验中进行精确归一化，而不会引入额外的光学损耗。该方法利用了极紫外计量装置中通常存在的任何导电组件，使其成为现有系统的一种经济高效且直接的补充。
引用
@article{arxiv.2410.20479,
title = {Lossless photon flux sensing methodology for EUV and Soft X-ray metrology systems},
author = {Sven Weerdenburg and Roland Horsten and Wim Coene},
journal= {arXiv preprint arXiv:2410.20479},
year = {2024}
}