飞秒-皮秒激光辐照固体锡靶的离子分布与烧蚀深度测量
等离子体物理
2017-01-05 v1
摘要
研究了波长800纳米的激光对固体锡表面的烧蚀，脉冲长度范围500 fs至4.5 ps，注量(fluence)范围0.9至22 J/cm^2。烧蚀深度和体积采用高数值孔径光学显微镜获得，而离子产额和能量分布由一组置于不同角度的法拉第杯获得。我们发现随着脉冲长度增加，离子产额轻微增加，而烧蚀深度轻微减小。烧蚀体积作为脉冲长度的函数保持恒定。烧蚀深度对注量遵循双区域对数依赖，与现有文献和理论一致。在所考察的注量范围内，离子产额角分布在低注量下沿靶法线尖锐峰值，但随注量增加迅速变宽。总电离分数随注量单调增加至5-6%的最大值，这显著低于纳秒脉冲烧蚀获得的典型电离分数。离子的角分布在不依赖激光脉冲长度（在测量不确定度内）。这些结果对于飞秒-皮秒激光系统在纳米光刻用极紫外光等离子体源中的可能应用具有特别意义。
引用
@article{arxiv.1701.01006,
title = {Ion distribution and ablation depth measurements of a fs-ps laser-irradiated solid tin target},
author = {M J Deuzeman and A S Stodolna and E E B Leerssen and A Antoncecchi and N Spook and T Kleijntjens and J Versluis and S Witte and K S E Eikema and W Ubachs and R Hoekstra and O O Versolato},
journal= {arXiv preprint arXiv:1701.01006},
year = {2017}
}
备注
8 pages, 7 figures