SHINE 中具有灵活偏振的高功率极紫外 FEL 辐射

基于直线加速器的自由电子激光（FELs）具有高亮度、窄带宽、可控偏振和宽波长可调谐性。随着超导射频技术的快速发展，直线加速器现在可以在 MHz 级重复频率下运行，使 FELs 同时具备高重复频率和高平均功率。极紫外（BEUV）辐射在科学研究和工业应用中备受关注，尤其是对于下一代光刻技术。得益于 SHINE 的主要设计参数，产生 BEUV 辐射是该设施的一项自然能力。本文研究了 SHINE 的 BEUV 特性，并评估了其作为高平均功率光源的可达性能。通过应用波荡器锥化来提高能量提取效率，证明了具有可控偏振的千瓦级 BEUV 辐射是可以实现的。这些结果表明，SHINE 可以提供高性能的 BEUV 源，为下一代高分辨率光刻的高平均功率光源提供了一条现实途径。