采用具有超大可控面外驱动位移 MEMS 器件的高性能连续可调微波滤波器
仪器与探测器
2018-05-15 v2
摘要
微波 X 和 K 波段的软件定义无线电（SDR）有望实现低成本、可编程运行并具备实时频率捷变能力。然而，此类无线电工作的真实环境要求它们能够在 100 kW 发射机附近检测到纳瓦级信号。这需要在接收机前端配备选择性射频滤波器以阻挡带外的大射频信号，从而避免 SDR 有限的动态范围被淹没，并使所需的纳瓦级信号可被检测与数字处理。目前通常借助若干窄带滤波器在程序控制下切换实现。所需要的是一种小型、快速、宽调谐范围、高 Q 值、低损耗且能在微波频谱大范围内连续调谐的滤波器。本文展示如何利用极端位移 MEMS 驱动器构建工作于 15 GHz 及更高频率的此类滤波器。我们 MEMS 驱动器的关键赋能特性在于其具有毫米或更大的大范围、可控面外驱动位移。在电容柱加载腔体滤波器结构中，这提供了足够精确可控的运动，以在 4–15 GHz 频段产生宽调谐器件。
引用
@article{arxiv.1804.08658,
title = {High Performance, Continuously Tunable Microwave Filters using MEMS Devices with Very Large, Controlled, Out-of-Plane Actuation},
author = {Jackson Chang and Michael Holyoak and George Kannell and Marc Beacken and Matthias Imboden and David J. Bishop},
journal= {arXiv preprint arXiv:1804.08658},
year = {2018}
}
备注
12 pages 14 figures 2 tables