飞秒激光在玻璃中制备亚 50nm 特征尺寸的纳米结构
光学
2015-06-12 v1
摘要
我们报道了通过飞秒激光直写在多孔玻璃基底中可控地制备嵌入纳米结构。我们表明，通过调控写入激光束的峰值强度和偏振，可以实现横向尺寸约为 40 nm、轴向尺寸约为 1500 nm 的中空纳米空洞。我们的发现使得在玻璃内部直接构建三维纳米流体器件成为可能。
引用
@article{arxiv.1211.4072,
title = {Femtosecond laser nanostructuring in glass with sub-50nm feature sizes},
author = {Yang Liao and Yinglong Shen and Lingling Qiao and Danping Chen and Ya Cheng and Koji Sugioka and Katsumi Midorikawa},
journal= {arXiv preprint arXiv:1211.4072},
year = {2015}
}
备注
15 pages, 4 figures