金刚石飞秒激光微加工：研究现状、应用与挑战

超快飞秒（fs）激光凭借短脉冲持续时间、高激光强度和聚焦光学能量在短于热扩散至光束焦点周边区域速率的时间尺度上传递，减少了向工件材料本体传热，从而提供了一种独特的技术途径，可精确高效地微加工材料且热损伤极小。将 fs 加工技术进一步发展以改进加工质量、最小化总加工时间并增加金刚石上复杂图案加工的灵活性，需求日益增长。本文概述了应用 fs 激光技术微加工金刚石的近期研究发现。讨论并详述了精确微加工金刚石的激光技术，重点在于 fs 激光辐照系统及其特性、激光与各类金刚石的相互作用、辐照样品的加工与后续后处理，以及恰当的样品表征方法。最后，讨论了当前与新兴的应用领域，并指出了 fs 激光微加工领域的挑战与未来研究前景。