用于任意纳米图案直写及更广泛应用远场复合超分辨透镜
光学
2021-08-26 v1 应用物理
摘要
提出并演示了一种由平凸透镜与微球透镜（PCM）组成的低成本复合超分辨透镜，用于亚波长直接激光扫描直写。该PCM透镜在空气中（距透镜约6 um）可实现约{\lambda}/3.5的远场超分辨，超越现有商用物镜的分辨极限，属首创。利用所开发的PCM透镜，现可在多种基底上以简单且低成本的方式直接制备任意纳米图案。该透镜也可用于共焦配置下的纳米成像与传感等其他应用。本工作或可推动下一代低成本直接激光纳米加工机与超分辨成像纳米镜的发展。
引用
@article{arxiv.1910.03454,
title = {Far-field Compound Super-resolution Lens for direct laser writing of arbitrary nano patterns and beyond},
author = {B. Yan and L. Yue and J. N. Monks and X. Yang and D. Xiong and C. Jiang and Z. Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1910.03454},
year = {2021}
}
备注
14 pages, 3 figures