面向一维光纤阵列边耦合器的半圆形通道制造
光学
2025-04-08 v1 应用物理
摘要
光子集成电路 (PIC) 是实现高速和紧凑光电子应用的关键技术,但高效地将光耦合到 PIC 仍是关键挑战,其中最小化插入损耗对于高性能应用至关重要。光纤阵列通常用作 PIC 的边缘耦合器。在本工作中,我们演示了利用亚秒脉冲激光微加工在玻璃基片上制造半圆形通道,用于光纤阵列边耦合器。该方法可实现亚微米精度,在玻璃基片上形成狭窄、 well-defined 的沟槽,从而实现可靠的光纤定位以提高耦合效率。实验结果表明,该方法适用于密集光纤阵列,间隙约为 3 μm。
引用
@article{arxiv.2504.04157,
title = {Fabrication of semi-cylindrical channels for one-dimensional fiber array edge couplers},
author = {Sakthi Priya Amirtharaj and Saandeep Peesapati and Sirshi S Ram and Sivarama Krishnan and Anil Prabhakar},
journal= {arXiv preprint arXiv:2504.04157},
year = {2025}
}