基于直写激光技术制备 Ge2Sb2Te5 超表面
应用物理
2021-05-05 v1 介观与纳米尺度物理
光学
摘要
我们通过实验演示了利用直写激光技术在溅射于玻璃和蓝宝石衬底上的 200 nm 厚 Ge2Sb2Te5 薄膜上制备周期为 3 um 的可调高对比度周期性渔网状超表面。我们发现，由于高导热性，使用蓝宝石衬底可提供更精确的超表面片段。所展示方法的优势在于其简单性、快速性、鲁棒性以及对所制备结构进行调谐的能力。这对于在电信与信息处理领域创建鲁棒且可调的超表面至关重要。
引用
@article{arxiv.2012.12103,
title = {Fabrication of Ge2Sb2Te5 metasurfaces by direct laser writing technique},
author = {D. V. Bochek and K. B. Samusev and D. A. Yavsin and M. V. Zhukov and M. F. Limonov and M. V. Rybin and I. I. Shishkin and A. D. Sinelnik},
journal= {arXiv preprint arXiv:2012.12103},
year = {2021}
}
备注
10 pages, 5 figures