面向高性能太赫兹光学的具有亚波长结构的三层全硅干涉光学滤波器的制备与分析
天体物理仪器与方法
2016-10-26 v1 仪器与探测器
摘要
我们提出了一种由纯硅构成的全硅多层干涉滤波器，其具有亚波长结构（SWS），旨在实现工作在太赫兹频区的高性能光学滤波器，并具有抗低温热循环和机械损伤的鲁棒性。作为开发实用滤波器的第一步，我们展示了利用成熟的通用微机电系统（MEMS）技术制备的三层原型。三层滤波器的实测透射率与通过有效折射率的简单薄膜计算以及严格耦合波分析模拟计算的理论透射率吻合良好。我们通过实验表明，即使滤波器中存在多个 SWS 层，SWS 层也能作为具有有效折射率的均匀薄膜干涉层工作。
引用
@article{arxiv.1610.07071,
title = {Fabrication and Analysis of Three-Layer All-Silicon Interference Optical Filter with Sub-Wavelength Structure toward High Performance Terahertz Optics},
author = {Hironobu Makitsubo and Takehiko Wada and Hirokazu Kataza and Makoto Mita and Toyoaki Suzuki and Keita Yamamoto},
journal= {arXiv preprint arXiv:1610.07071},
year = {2016}
}
备注
Accepted for publication in J Infrared Milli Terahz Waves. The final publication will be available at Springer via http://dx.doi.org/10.1007/s10762-016-0328-z