基于 BCB 涂层的硅光子学超声检测灵敏度增强
光学
2019-01-15 v1 应用物理
摘要
基于硅波导的超声检测依赖于声波调制导模有效折射率的能力。然而，硅与二氧化硅的低光弹响应限制了常规绝缘体上硅（SOI）传感器的灵敏度，其中硅芯被二氧化硅包层包围。本文中，我们证明以双苯并环丁烯（BCB）——一种具有高光弹系数的透明聚合物——替代二氧化硅上包层，可显著增强硅波导对超声的灵敏度。在我们的实验研究中，就有效折射率所受诱导调制而言，覆有 BCB 的 TM 偏振硅波导对超声的响应可与先前报道的聚合物波导相比拟，且比光纤所达响应高一个数量级。此外，在我们的研究中，当采用 BCB 上包层时，传感器对表面声波与混响的易感性在 TE 与 TM 两种模式下均得以降低。
引用
@article{arxiv.1901.03987,
title = {Enhanced sensitivity of silicon-photonics-based ultrasound detection via BCB coating},
author = {Resmi Ravi Kumar and Evgeny Hahamovich and Shai Tsesses and Yoav Hazan and Assaf Grinberg and Amir Rosenthal},
journal= {arXiv preprint arXiv:1901.03987},
year = {2019}
}