直线路径电子：一种适于作为参考标准的新型电离真空计
仪器与探测器
2021-03-08 v1
摘要
欧洲项目 16NRM05 的联合体设计了一种新型电离真空计，其中电子从发射阴极经电离空间沿直线路径进入法拉第杯。与现有电离真空计相比，其优势在于电子路径长度定义明确。它独立于发射点和发射角度，且不受收集极周围空间电荷的影响。此外，电子不会撞击阳极，从而避免反射、产生二次电子或引起中性粒子或离子的脱附。采用该设计旨在开发一种更稳定的电离真空计，适于作为 Pa 至 Pa 范围内的参考标准，用于其他真空计与四极质谱仪的校准。两家不同制造商生产的原型计显示出可预测的灵敏度，分散性极小（< 1.5%）、极好的短期重复性（< 0.05%）与再现性（< 1%），即使在更换发射阴极和跌落测试后亦然。这些特性使该真空计对工业应用也具有吸引力，因为更换真空计无需校准或重新调整工艺。
引用
@article{arxiv.2103.03566,
title = {Electrons on a straight path: A novel ionisation vacuum gauge suitable as reference standard},
author = {Karl Jousten and Matthias Bernien and Frédéric Boineau and Nenad Bundaleski and Claus Illgen and Berthold Jenninger and Gustav Jönsson and Janez Šetina and Orlando M. N. D. Teodoro and Martin Vičar},
journal= {arXiv preprint arXiv:2103.03566},
year = {2021}
}
备注
17 pages, 7 figures, 2 tables