基于矩阵补全的高效空间变异表征
计算工程、金融与科学
2017-03-30 v1
摘要
本文提出了一种估计和表征晶圆或芯片上空间变异的新方法。该新技术利用了矩阵补全领域的最新进展，能够仅通过少量随机选取的采样点来估计晶圆或芯片上的空间变异，同时仍保持相当高的精度。该方法易于推广，包括用于估计混合的空间与结构或器件类型信息。
引用
@article{arxiv.1703.09876,
title = {Efficient Spatial Variation Characterization via Matrix Completion},
author = {Hongge Chen and Duane Boning and Zheng Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1703.09876},
year = {2017}
}