非晶铝氧化物薄膜的微尺度弯曲塑性与断裂行为
计算机视觉与模式识别
2026-05-05 v1
摘要
最近的研究表明，脉冲激光沉积(PLD)的非晶alumina(a-Al2O3)具有微尺度压缩塑性。本文探讨了使用三种不同方法沉积的a-Al2O3薄膜的微尺度弯曲塑性与断裂行为——PLD、原子层沉积(ALD)和溢射沉积(SD)。这三种沉积方法产生的非晶薄膜具有相似的化学计量比。我们首次在PLD和ALD a-Al2O3薄膜中观察到微尺度弯曲塑性，使用室温下的原位微 cantilever 弯曲实验。所有测试的PLD a-Al2O3微 cantilever 在弯曲中表现出显著的塑性行为，通过承受总应变>10%而不破裂。一半的ALD a-Al2O3 cantilever 显示弹性脆性断裂，而另一半表现出弯曲塑性，表明所观察到的变形行为strongly受制于测试体积内缺陷的存在与分布。所有SD a-Al2O3微 cantilever 显示弹性脆性失效，归因于其柱状生长 microstructure。微尺度弯曲响应高度取决于薄膜沉积方法，突显了缺陷在抑制塑性机制中的作用。对所有三种薄膜进行的缺口微 cantilever 弯曲测试显示脆性断裂，断口韧性值为3.1 +/- 0.2 MPa.m0.5，有效排除了局部裂纹顶塑性。这些发现凸显了在制造过程中最小化缺陷的重要性，以开发具有韧性的非晶氧化物。尽管如此，PLD和ALD微 cantilever中观察到的弯曲塑性，包括拉伸应力分量，表明非晶氧化铝的塑性变形机制更为普遍，並不仅仅由沉积方法支配。
引用
@article{arxiv.2605.01916,
title = {EAPFusion: Intrinsic Evolving Auxiliary Prior Guidance for Infrared and Visible Image Fusion},
author = {Zhenyu Sun and Luobin Zhang and Axi Niu and Haishen Wang and Qingsen Yan},
journal= {arXiv preprint arXiv:2605.01916},
year = {2026}
}
备注
23 pages, 7 figures