等离子体中电子撞击后氢氟碳分子的解离
化学物理
2024-02-21 v1
摘要
通过从头算分子动力学 (AIMD) 研究了等离子体中电子撞击激发的两个氢氟碳分子在低三重态下的解离过程。对等离子体中氢氟碳解离的兴趣源于其在微电子技术中等离子体刻蚀中的作用。三重态的解离非常迅速，且可以预测反应产物。在本工作中，我们发现由于非绝热动力学，较高的三重态会在几飞秒内弛豫到最低三重态，因此在最低三重态上进行的简单从头算分子动力学似乎能合理估计反应通道分支比。我们提供了证据，证明存在简单的规则支配三重态下氢氟碳分子的解离。对于具有双键的分子，与其相邻的键比其他键解离得更快。
引用
@article{arxiv.2402.12473,
title = {Dissociation of hydrofluorocarbon molecules after electron impact in plasma},
author = {Dmitry V. Makhov and Gregory Armstrong and Hsiao-Han Chuang and Harin Ambalampitiya and Kateryna Lemishko and Sebastian Mohr and Anna Nelson and Jonathan Tennyson and Dmitrii Shalashilin},
journal= {arXiv preprint arXiv:2402.12473},
year = {2024}
}