用于高分辨率聚焦离子束的溢流原子束直接磁光压缩
原子物理
2017-05-31 v4
摘要
利用激光诱导荧光,我们对在70 mm长的二维磁光阱(2D MOT)中形成的、直接从准直Knudsen源装载的原子铷束进行了分析。本文报告了原子束的纵向速度分布、横向温度与通量。由于该原子束旨在被光致电离并应用于聚焦离子束,我们计算了具有与该原子束相似性质的离子束的等效横向约化亮度。在单个二维磁光阱捕获步骤中,实现了 A/(m sr eV) 的等效横向约化亮度,其束流通量等效于 nA。在2D MOT之后使用光学黏胶进一步降低了束的温度。这将等效亮度提高至 A/(m sr eV)。对于低于10 pA的电流(此时可抑制无序诱导加热),该数值也是可预期的离子束亮度的良好估计。这样的离子束亮度将比液态金属离子源提高六倍,并可能改善聚焦离子束纳米加工中的分辨率。
引用
@article{arxiv.1612.01883,
title = {Direct magneto-optical compression of an effusive atomic beam for high-resolution focused ion beam application},
author = {G. ten Haaf and T. C. H. de Raadt and G. P. Offermans and J. F. M. van Rens and P. H. A. Mutsaers and E. J. D. Vredenbregt and S. H. W. Wouters},
journal= {arXiv preprint arXiv:1612.01883},
year = {2017}
}
备注
10 pages, 8 figures, 1 table