具有亚10纳米分辨率的纳米颗粒确定性沉积

将纳米颗粒精确沉积在基底上的确定位置仍是一项具有挑战性的任务，因为这同时需要稳定的长距离传输与向目标位点的吸引，以及精确的短距离定向与沉积。本文提出一种基于纳米流体狭缝中几何诱导能量势垒的颗粒操控方法：利用布朗马达或电渗流将颗粒输送至目标区域。在目标位点，静电捕获对颗粒进行定位与定向。最后，减小狭缝间隙距离可依次实现颗粒位置的聚焦以及向黏附接触的若干纳米跃迁。对于60 nm金球，我们获得了8 nm的放置精度。该方法的多功能性进一步通过纳米棒堆叠组装和InAs纳米线的定向沉积得到展示。