ConamArray：一种 32 元件宽带 MEMS 超声换能器阵列
系统与控制
2025-09-03 v1 系统与控制
摘要
本文提出了 ConamArray，一种由 32 个 MEMS 扬声器组成的紧凑型宽带超声换能器阵列。传统宽带换能器通常体积庞大且需要高驱动电压，与此不同，本文提出的阵列将小尺寸 MEMS 器件以交错的排双行配置相结合，以实现在宽超声频段内的波束转向。具有同步多 DAC 输出的双微控制器后端提供了灵活的波形生成和运行时转向控制。仿真和消声室测量均表明，ConamArray 实现了稳定的波束转向，同时也揭示了当转向至更大角度时栅瓣的出现。这些结果证实了利用 MEMS 技术实现宽带波束转向的可行性，为超声成像、定位和仿生机器人领域的应用开辟了新机遇。
关键词
引用
@article{arxiv.2509.01372,
title = {ConamArray: A 32-Element Broadband MEMS Ultrasound Transducer Array},
author = {Dennis Laurijssen and Rens Baeyens and Walter Daems and Jan Steckel},
journal= {arXiv preprint arXiv:2509.01372},
year = {2025}
}