用于下一代宇宙微波背景偏振实验的商业制造天线耦合跃迁边缘传感器辐射热探测器
天体物理仪器与方法
2020-02-19 v1
摘要
我们报道了用于宇宙微波背景（CMB）偏振实验的商业制造多色天线耦合跃迁边缘传感器（TES）辐射热探测器阵列的研制。下一代 CMB 实验探测器数量的数量级增长需要探测器晶圆生产的新方法以提高制造吞吐量。我们描述了与商业超导电子制造厂（SeeQC, Inc.）合作制造天线耦合 TES 辐射热探测器的努力。我们已在 150 mm 直径晶圆上成功制造出可工作的双偏振、双色正弦天线耦合 TES 探测器阵列。所制造的探测器阵列平均良率为 95%，且整个晶圆均匀性优良。RF 特性与 TES 辐射热探测器性质均适用于 CMB 观测。我们成功制造了针对频分复用读出、时域复用读出和微波 SQUID 复用读出优化的不同类型 TES 辐射热探测器。我们还展示了高生产吞吐量。我们讨论了动机、设计考量、制造工艺、测试结果，以及工业探测器制造如何成为未来 CMB 偏振实验制造数百个探测器晶圆的途径。
引用
@article{arxiv.1912.12782,
title = {Commercially fabricated antenna-coupled Transition Edge Sensor bolometer detectors for next generation Cosmic Microwave Background polarimetry experiment},
author = {Aritoki Suzuki and Nicholas Cothard and Adrian T. Lee and Michael D. Niemack and Christopher Raum and Mario Renzullo and Trevor Sasse and Jason Stevens and Patrick Truitt and Eve Vavagiakis and John Vivalda and Benjamin Westrook and Daniel Yohannes},
journal= {arXiv preprint arXiv:1912.12782},
year = {2020}
}
备注
7 pages, 5 figures, Proceedings for LTD-18, Accepted for publication in JLTP