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用于潜在气体传感器应用的喷雾烘干制备的Cu掺杂NiO薄膜的结构、光学与电性特征

光学 2026-01-28 v2 人工智能

摘要

通过喷雾烘干法在ITO衬底上于450°C进行1.5分钟的喷雾沉积制备了Cu掺杂NiO薄膜。XRD确认了立方NiO结构,Cu掺杂导致晶粒尺寸减小、屈面间距增大以及晶格参数扩张,表明Cu离子成功掺入。光学分析显示带隙从3.70 eV减小至3.65 eV,荧光光谱表明发射强度降低,暗示缺陷态增加且载流子复合抑制。拉曼光谱显示LO、2TO和2LO模式发生红移,且TO模式消失,确认了Cu掺杂引起的晶格畸变。气体传感测试在环境条件和LPG条件下表明,掺杂薄膜的灵敏度和电压依赖响应显著提升。这些结果表明,Cu掺杂可增强电荷传输和气体相互作用机制,使Cu掺杂NiO薄膜在高效可靠的气体传感器领域具有高度前景。

关键词

引用

@article{arxiv.2509.24196,
  title  = {Chat to Chip: Large Language Model Based Design of Arbitrarily Shaped Metasurfaces},
  author = {Huanshu Zhang and Lei Kang and Sawyer D. Campbell and Douglas H. Werner},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2509.24196},
  year   = {2026}
}