基于 SU-8 波导的双模等离激元折射率传感器
光学
2025-04-08 v1 应用物理
摘要
等离激元折射率传感器通过表面等离激元相互作用检测周围环境的微小变化，是必不可少的。当前利用 CMOS 兼容、具有主动功率平衡的等离激元-光子 Mach-Zehnder 干涉仪的努力，以制造和测量的复杂性为代价实现了高灵敏度。或者，基于 SU-8 波导的无源双模等离激元干涉仪提供了一种具有更小器件尺寸的低成本解决方案，尽管由于暴露的光子波导，它们目前缺乏光机械隔离。在这项工作中，我们引入了具有高折射率对比度的创新聚合物纤芯和聚合物包层双模等离激元折射率传感器。我们的传感器具有铝条带、双层 SU-8 光子波导芯以及实验性光学包层聚合物 SX AR LWL 2.0。它们实现了 (6300 460) nm/RIU（折射率单位）的灵敏度，超越了传统和基于聚合物的等离激元-光子传感器。这种方法实现了集成化、晶圆级、CMOS 兼容且低成本的传感器，并促进了用于各种应用的等离激元折射率传感平台。
引用
@article{arxiv.2405.05716,
title = {Bimodal Plasmonic Refractive Index Sensors Based on SU-8 Waveguides},
author = {Omkar Bhalerao and Stephan Suckow and Horst Windgassen and Harry Biller and Konstantinos Fotiadis and Stelios Simos and Evangelia Chatzianagnostou and Dimosthenis Spasopoulos and Pratyusha Das and Laurent Markey and Jean-Claude Weeber and Nikos Pleros and Matthias Schirmer and Max C. Lemme},
journal= {arXiv preprint arXiv:2405.05716},
year = {2025}
}
备注
30 pages