超导探测器视觉特性的自动化分析

低温超导探测器的测试和质量保证是一个耗时且劳动密集的过程。随着实验部署越来越大的探测器阵列，需要新的方法来快速执行这些测试。本文提出一种流程，在探测器晶圆进行低温测试之前，先标记出性能不佳的晶圆。探测器在光学显微镜下成像，利用计算机视觉技术分析图像，寻找视觉缺陷和其他性能不佳的预测因子。通过一组带有模拟缺陷的图像验证了流程性能，检测准确率达到98.6%。最后，展示了该流程在计划中的SPT-3G+实验的原型微波动力学电感探测器上的运行结果。