面向微量热计应用的高纯度电镀金粒子吸收体先进制造工艺
仪器与探测器
2025-02-18 v2
摘要
磁性微量热计 (MMCs) 已成为需要出色能量分辨率、快速信号上升时间和优异线性度的应用的关键技术。MMCs 通过使用与吸收体热耦合的顺磁温度传感器，测量单个粒子在粒子吸收体内被吸收后的温升。粒子吸收体的设计和制造是实现出色探测器性能的关键。在此，我们提出了一种由两层堆叠且独立电镀的高纯度 Au 层制成的独立式粒子吸收体的微制造工艺。例如，这使得能够将放射源嵌入吸收体中以在放射性核素计量学中实现 探测几何形状，或根据未来高能物理应用的需求制备具有可变量子效率和能量分辨率的探测器阵列。通过对光刻胶工艺和电镀参数的仔细优化，Au 薄膜具有极高的纯度以及高于 40 的极高剩余电阻率比值，从而实现快速的吸收体内部热化。
引用
@article{arxiv.2409.07971,
title = {Advanced fabrication process for particle absorbers of highly pure electroplated gold for microcalorimeter applications},
author = {Michael Müller and Ria-Helen Zühlke and Sebastian Kempf},
journal= {arXiv preprint arXiv:2409.07971},
year = {2025}
}