实现高均匀性与高可靠性有机电化学晶体管的混合工艺
应用物理
2024-04-22 v1
摘要
光刻技术被认为是大面积印刷的互补技术，能够实现纳米级集成并提供成本效益。然而，对于有机电子学而言，由于化学不相容性，采用光刻技术极具挑战性。然而，在 Alexander Zakhidov 的帮助下，正交树脂为将成熟的光刻工艺应用于有机电子学开辟了前景。在此，我们提出了一种结合正交光刻和喷墨印刷的有机电化学晶体管混合制造方法，实现了高均匀性和高可靠性。我们展示了每个工艺的分辨率如何影响均匀性，并探讨了该工艺在器件缩放和电路集成方面的优势。
引用
@article{arxiv.2404.12806,
title = {A Hybrid Process for Integration of Organic Electrochemical Transistors for High Uniformity & Reliability},
author = {Tommy Meier and Yeohoon Yoon and Laura Teuerle and Ali Solgi and Karl Leo and Hans Kleemann},
journal= {arXiv preprint arXiv:2404.12806},
year = {2024}
}
备注
16 pages, 4 figures