一种用于极高真空的恒压流量计

我们展示了一种恒压流量计的运行，该流量计能够产生并精确测量低至 $2\times10^{-13}$ mol/s 的流量。如此小流量的产生是通过使用一个 $C\approx 50$ nL/s 的小电导元件实现的。精确测量进而要求低出气率材料（$<10^{-15}$ mol/s）和小的体积变化（$\approx 70$ $\mu$L）。我们概述了该流量计的构造，详述了其操作，并量化了其不确定度。B 类不确定度在整个工作范围内为 $<0.2$ %（$k=1$）。特别地，我们给出了其液压系统的分析，并量化了由微可压缩油引起的偏移与不确定度。最后，我们将我们的流量计与 NIST 标准流量计进行比较，发现二者在 0.5 %（$k=2$）内一致。